IT関連・電子機器など先端分野のニーズに応え
RFプラズマによるナノメートルサイズの超微粒子製造技術の開発

 日清製粉グループのプラント・機器メーカーである日清エンジニアリング株式会社(社長 土橋 健夫)は、当社の主力事業のひとつである粉体加工事業において、業界で初めてRFプラズマ法によるナノメートル(nm:ナノは10億分の1)サイズの超微粒子製造技術の開発に成功しました。

 RFプラズマ法は高周波電磁波をガスに印加することにより発生する高温プラズマで、最高温度は1万℃〜1万数千℃に達します。この高温場に特殊な方法で原料物質を投入すると、物質は瞬時に加熱され気化します。気化した物質が高温場から離れると、急速に冷却され固化します。この乾式プロセスによっていろいろな物質を超微粒子にすることができます。また、このプラズマ発生法は無電極のため、生成された超微粒子に不純物の混入が非常に少ないことが大きな特徴になっています。

 既にセラミックの世界では、チタン・バリウム・シリコンなどの原子の複合体が使用されていますが、今回のRFプラズマ法を用いることにより、単体を高温で反応させて複合体の超微粒子が製造可能になりました。

 当社では、今までに10分の1ミクロン程度の微粒子を工業レベルで製造し、電子材料などに利用しておりましたが、さらに小さなナノメートルサイズの超微粒子の市場ニーズに対応するため研究開発を進めてまいりました。

<新技術での超微粒子の特長>
●ナノメートルサイズの粒径のそろった超微粒子の製造
●各種複合酸化物が製造可能
●工業レベルの大量製造が可能(数百グラム/時間)

 特に今回製造可能となった超微粒子チタン酸バリウムは、さらに小型化しつつある携帯電話などの電気制御部品などに使用でき、今後もIT関連及び電子機器材料等の先端分野への応用が期待されます。
 今回のRFプラズマ法を用いたナノテクノロジーをベースに、新規超微粒子ビジネスを展開して参りたいと考えています。